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진공시스템

부스터펌핑시스템

VSB(Dry Type) Series
  VSB -5K VSB -10K VSB -20K VSB -40K VSB -80K VSB -160K
배기속도(m³/hr) 60Hz 215 600 1200 2420 4700 9600
50Hz 180 500 1000 2010 3850 8000
도달압력 5.3 X 10-4 Torr (7.2 X 10-2 Pa)
소비전력(kW) 1.9 13.2 19 29.5 40.5 59
흡기구(A) 80 100 100 150 200 300
배기구(A) 40 40 50 80 80 80
중량(kg) 132 465 585 890 1325 2185

진공리시브탱크시스템

본 장비는 중앙 진공 공급 장치인 진공 리시브 탱크 시스템으로 진공펌프를 사용함에 있어 탱크 내부를 진공으로 만들어 놓은 상태에서 필요한 공정 작업을 진행할 수 있는 장비로 연속 공정에서의 에너지 효율이 높은 장비이다.

자동헬륨리크테스트시스템

본 장비는 진공 기밀을 이용한 자동화 He 누설 검사 장비로 각종 제품에 대한 미세누설 부분 및 누설 결함을 정밀하게 파악하는 장비로서 주요 특징 중 하나인 헬륨의 회수 기능을 90% 이상 구현하여 고가의 He 비용을 절감할 수 있는 장비이다.

고진공테스트&검교정시스템

본 장비는 진공원천기술 연구 및 진공펌프 종합성능평가 이외에 잔류기체분석장비(이하 QMS)를 이용한 시스템을 활용할 수 있는 장비로 신뢰성 확보를 위한 ISO, AVS 등의 국제규격에 의한 국제규격에 따른 평가절차에 기본으로 둔 장비이다.

글러브박스

본 장비는 수분이나 산소 등에 민감한 물질을 취급할 때 오염을 방지하는 장비로 물질의 화학적 반응을 억제하기 위하여 고순도의 불활성 기체로 치환된 밀폐 상자이다. 투명창에 부착된 글러브를 통하여 상자 내부에 필요한 작업을 진행할 수 있으며, 물질을 보관하거나 반출할 수 있는 장비로 상자 내부의 산소와 수분 함유율을 1 ppm 이하로 유지하기 위한 전용 prufier를 적용한 장치이다.

하이퍼튜브시스템

미래 교통 기술 중 하나인 Hyper Tube의 기초 시험 단계인 아진공 튜브용 진공챔버 기밀성 테스트 시스템으로 초고속 열차가 운행하는 진공튜브 내의 진공 형성 및 진공을 유지하기 위한 조건과, 대기압 하에서 목표 진공도(1mbar)까지 배관의 컨덕턴스의 변화에 따른 펌핑 시간을 측정하여, 향후 실증 시험 시 진공펌프의 배치 수량을 결정하기 위한 기초자료를 확보로 목표로 한 시스템이다.

열진공챔버

극한환경 지반 대형 열진공 챔버 - 우주환경 모사장치 파이럿 스케일 열진공챔버 - 우주환경 모사장치

우주환경 모사장비 중 하나인 극한환경 지반 열진공 챔버는 달 환경을 모사여 달 환경에서의 성능 검사 시험을 가능하게 하는 장비로 초고진공 환경과 극저온과 태양 복사열을 재현하는 장비이다. 달 환경뿐만 아니라 우주 환경에 대한 모사기술을 확립할 수 있으며 대형 챔버의 설계 및 제작에 대해 가이드라인을 제시하며 향후 우주 시험들에 대해 달 환경 및 우주 환경 기반 시험기술을 확보할 수 있다.

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