진공시스템
부스터펌핑시스템

VSB -5K | VSB -10K | VSB -20K | VSB -40K | VSB -80K | VSB -160K | ||
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배기속도(m³/hr) | 60Hz | 215 | 600 | 1200 | 2420 | 4700 | 9600 |
50Hz | 180 | 500 | 1000 | 2010 | 3850 | 8000 | |
도달압력 | 5.3 X 10-4 Torr (7.2 X 10-2 Pa) | ||||||
소비전력(kW) | 1.9 | 13.2 | 19 | 29.5 | 40.5 | 59 | |
흡기구(A) | 80 | 100 | 100 | 150 | 200 | 300 | |
배기구(A) | 40 | 40 | 50 | 80 | 80 | 80 | |
중량(kg) | 132 | 465 | 585 | 890 | 1325 | 2185 |
진공리시브탱크시스템

본 장비는 중앙 진공 공급 장치인 진공 리시브 탱크 시스템으로 진공펌프를 사용함에 있어 탱크 내부를 진공으로 만들어 놓은 상태에서 필요한 공정 작업을 진행할 수 있는 장비로 연속 공정에서의 에너지 효율이 높은 장비이다.
자동헬륨리크테스트시스템

본 장비는 진공 기밀을 이용한 자동화 He 누설 검사 장비로 각종 제품에 대한 미세누설 부분 및 누설 결함을 정밀하게 파악하는 장비로서 주요 특징 중 하나인 헬륨의 회수 기능을 90% 이상 구현하여 고가의 He 비용을 절감할 수 있는 장비이다.
고진공테스트&검교정시스템

본 장비는 진공원천기술 연구 및 진공펌프 종합성능평가 이외에 잔류기체분석장비(이하 QMS)를 이용한 시스템을 활용할 수 있는 장비로 신뢰성 확보를 위한 ISO, AVS 등의 국제규격에 의한 국제규격에 따른 평가절차에 기본으로 둔 장비이다.
글러브박스

본 장비는 수분이나 산소 등에 민감한 물질을 취급할 때 오염을 방지하는 장비로 물질의 화학적 반응을 억제하기 위하여 고순도의 불활성 기체로 치환된 밀폐 상자이다. 투명창에 부착된 글러브를 통하여 상자 내부에 필요한 작업을 진행할 수 있으며, 물질을 보관하거나 반출할 수 있는 장비로 상자 내부의 산소와 수분 함유율을 1 ppm 이하로 유지하기 위한 전용 prufier를 적용한 장치이다.
하이퍼튜브시스템

미래 교통 기술 중 하나인 Hyper Tube의 기초 시험 단계인 아진공 튜브용 진공챔버 기밀성 테스트 시스템으로 초고속 열차가 운행하는 진공튜브 내의 진공 형성 및 진공을 유지하기 위한 조건과, 대기압 하에서 목표 진공도(1mbar)까지 배관의 컨덕턴스의 변화에 따른 펌핑 시간을 측정하여, 향후 실증 시험 시 진공펌프의 배치 수량을 결정하기 위한 기초자료를 확보로 목표로 한 시스템이다.
열진공챔버

극한환경 지반 대형 열진공 챔버 - 우주환경 모사장치 파이럿 스케일 열진공챔버 - 우주환경 모사장치
우주환경 모사장비 중 하나인 극한환경 지반 열진공 챔버는 달 환경을 모사여 달 환경에서의 성능 검사 시험을 가능하게 하는 장비로 초고진공 환경과 극저온과 태양 복사열을 재현하는 장비이다. 달 환경뿐만 아니라 우주 환경에 대한 모사기술을 확립할 수 있으며 대형 챔버의 설계 및 제작에 대해 가이드라인을 제시하며 향후 우주 시험들에 대해 달 환경 및 우주 환경 기반 시험기술을 확보할 수 있다.
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